| 分子式 | C2H2Cl2 |
|---|---|
| 分子量 | 96.94 |
| 產地 | 江蘇 |
| 產品名稱 | 電子級反式-1，2-二氯乙烯(DCE) |
| 密度 | 1.256g/mL |
| 認證 | ISO9001 |
| 外觀 | 無色略帶刺激氣味液體 |
| 品牌 | 奇材館 |
| 型號 | ECS003426 |
一、產品概述
名稱：電子級反式-1，2-二氯乙烯(DCE)
簡介：無色略帶刺激氣味液體，熔點－57℃，沸點48℃，密度1.256g/mL。易燃。與氧化劑能發(fā)生強烈反應。與酸堿需隔離存放。
二、應用領域
高純度氯源，主要用于晶圓制造過程中加快硅片氧化和清洗爐管。是半導體、太陽能、分立器件、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的電子化學品。當CVD使用溫度低于800℃時，反式-1，2-二氯乙烯是目前已知的優(yōu)異的氯源。DCE在高溫與氧氣反應分解生產HCl、CO2等。產生的HCl與金屬原子反應后被氣體帶走，達到清洗管道的目的。
三、指標
| 分析項目 | 技術指標 |
| 7.5N | |
| 純度（%)，min | 99.999995 |
| Si，max | 0.3 ppb |
| B，max | 0.3 ppb |
| P，max | 0.3 ppb |
| 酸度，max | 0.38 ppm |
| 水分，max | 12.85 ppm |
| 主含量(%)，min | 99.97 |
| 顆粒數(shù)≥0.1μm，max | 0.97 p/ml |
| 顆粒數(shù)≥0.2μm，max | 0.3 p/ml |
| 顆粒數(shù)≥0.5μm，max | 0.3 p/ml |
| 色度，max | 10APHA |
